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直写式光刻机及漏水检测方法.pdfVIP

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  • 2023-05-23 发布于四川
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直写式光刻机及漏水检测方法.pdf

    本发明公开了一种直写式光刻机及漏水检测方法。直写式光刻机包括水冷式温度调节模块、漏水检测模块、信号处理模块和用于输出是否存在漏水信号的反馈信号输出模块。漏水检测模块包括漏水检测带，漏水检测带与水冷式温度调节模块接触，当漏水检测带浸水时，漏水检测带的阻值变化，信号处理模块与漏水检测模块通讯、反馈信号输出模块均连接，信号处理模块检测漏水检测带的阻值变化。根据本发明的直写式光刻机，通过设置漏水检测带、且使漏水检测带与水冷式温度调节模块接触，可以对直写式光刻机的漏水、冷凝水的情况作出快速反馈，进而可以实

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112161751 A (43)申请公布日 2021.01.01 (21)申请号 202010967731.9 (22)申请日 2020.09.15 (71)申请人 合肥芯碁微电子装备股份有限公司

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