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测试装置及测试装置的工作方法.pdfVIP

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  • 2023-05-23 发布于四川
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测试装置及测试装置的工作方法.pdf

    一种测试装置及测试装置的工作方法，装置包括：承载台，所述承载台用于放置测试晶圆；设置在承载台上方的探针，所述探针用于对测试晶圆进行点测，所述探针可沿垂直于承载台表面的第一方向和沿平行于承载台表面的第二方向移动；对准系统，所述对准系统包括：设置在承载台上方的上镜头，所述上镜头的镜面朝向承载台表面，且所述上镜头可沿第一方向和第二方向移动；与承载台相邻的下镜头，所述下镜头的镜面朝向所述上镜头的镜面；设置于承载台一侧的对准标记，所述对准标记在对准位置和远端位置之间移动，所述对准位置位于下镜头的上方以及上

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116136564 A (43)申请公布日 2023.05.19 (21)申请号 202111364942.4 G01R 1/04 (2006.01) (22)申请日 2021.11.1

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