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基于双悬臂梁增强型光声光谱的气体分解组分检测装置.pdfVIP

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  • 2023-05-23 发布于四川
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基于双悬臂梁增强型光声光谱的气体分解组分检测装置.pdf

    公开了一种基于双悬臂梁增强型光声光谱的气体分解组分检测装置，包括红外激光光源(1)、光学斩波器(2)、光声池(4)、硅微悬臂梁(6，13)、激光干涉仪(11，17)、上位机(22)。红外激光光源发出红外光，经光学斩波器调制成周期性红外光。光声池内的待测气体与周期性红外光作用后产生的光声效应，借助两个硅微悬臂梁对待测气体光声效应产生的声信号进行测量，将其转换为与声波强度成正比的电信号输出，将电信号转换为数字信号传入计算机，即可得到待测气体产生的光声信号。双悬臂梁传声器同时检测，检测对称位置的光声效

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112161932 A (43)申请公布日 2021.01.01 (21)申请号 202010980463.4 G01N 29/22 (2006.01) (22)申请日 2

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