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- 2023-05-23 发布于四川
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本发明涉及单晶硅片生产技术领域，且公开了一种大容量单晶硅片快速烘干系统，包括底座，所述底座顶部固定连接有烘干箱，所述烘干箱底部开设有烘干槽，所述底座顶部固定连接有位于烘干槽内且贯穿烘干箱并延伸至烘干箱右侧的进料输送带，所述底座顶部固定连接有位于烘干槽内且贯穿烘干箱并延伸至烘干箱左侧的出料输送带。该大容量单晶硅片快速烘干系统，解决了目前的单晶硅片烘干装置在烘干时把需要烘干的单晶硅片放置在托盘上，导致接触托盘的一面的烘干速度低于远离托盘一面的烘干速度，导致整体烘干效率降低，而且目前的烘干装置不便于拿
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112161431 A
(43)申请公布日 2021.01.01
(21)申请号 202010890374.0 F26B 25/18 (2006.01)
(22)申请日 2
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