一种防火报警装置用探测器及其制作方法.pdfVIP

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  • 2023-05-23 发布于四川
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一种防火报警装置用探测器及其制作方法.pdf

本发明公开了一种防火报警装置用探测器,包括由下至上依次设置的蓝宝石衬底、AlN缓冲层、n型Al0.4Ga0.6N层、i型Al0.4Ga0.6N势垒层、p型Al0.4Ga0.6N层和p型GaN层;所述p型GaN层上还生长有具有周期性的多量子阱相耦合而成的i‑GaN/i‑Al0.3Ga0.7N超晶格结构层;所述i‑GaN/i‑Al0.3Ga0.7N超晶格结构层的顶部生长有GaN纳米线阵列;所述GaN纳米线阵列顶部设有交叉指状电极。本发明集成了GaN纳米线阵列,不仅使得防火报警装置用探测器具有了多功能

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112164730 A (43)申请公布日 2021.01.01 (21)申请号 202010934937.1 G01J 1/42 (2006.01)

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