SEMI F63-24 中文版（word 版详细解读）半导体工艺用超纯水标准指南.docxVIP

SEMIF63-24中文版（word版详细解读）半导体工艺用超纯水标准指南

一、标准概况

1.1标准基本信息

本标准全称为《SEMIF63-24半导体工艺用超纯水标准》，是由国际半导体设备与材料协会（SEMI）主导制定和修订，于2024年正式发布实施，现行有效，全面替代SEMIF63-19（2019年版）半导体工艺用超纯水相关标准内容。作为全球半导体行业公认的核心技术标准，SEMIF63-24中文版结合我国半导体产业发展实际，对标准内容进行了精准翻译和本土化适配，兼顾国际通用性与国内产业适用性，是国内半导体制造企业、半导体设备厂商、超纯水制备企业、第三方检测机构及行业监管部门开展相关工作的核心依据。

SEMI协会结合全球半导体技术的快速迭代，尤其是先进制程（7nm及以下）、第三代半导体（碳化硅、氮化镓）等领域对超纯水纯度的极致要求，对2019版标准进行了全面优化修订。2024版标准在保留原有核心框架的基础上，重点强化了微小颗粒物、痕量金属杂质、低分子有机物的控制要求，新增了先进制程专用超纯水的质量指标，优化了在线监测与离线检测的联动要求，完善了超纯水制备、输送、使用全流程的合规管控，同时兼顾节能环保与产业成本控制，既贴合当前半导体产业的生产需求，又为未来技术升级预留了空间，进一步提升了标准的科学性、严谨性和可操作性。

本标准的归口管理部门为SEMI中国标准化