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- 2023-05-23 发布于四川
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本发明公开了一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的在线单频率跟踪测频方法,单频率跟踪的扫频范围应覆盖将当前频率视为高频频率对应的低频频率扫频范围,以及将当前频率视为低频频率对应的高频谐振频率扫频范围;当前频率作为单频率跟踪的依据和SC晶片双谐振频率中另一个频率的判断依据;在单次扫频测频过程中,必须先保证测到当前频率,若当前频率未测到,则不作另外两个扫频范围的频率判断,若测到当前频率再进行前向频率波形和后向频率波形的判断;本发明提供了一种处理效率高、数据精度高,双模频率精准区分的一种SC切型石英晶
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112162148 A
(43)申请公布日 2021.01.01
(21)申请号 202010942414.1
(22)申请日 2020.09.09
(71)申请人 浙江大学台州研究院
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