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电子显微镜研究生电镜实验培训;扫描电镜成像原理;扫描电镜成像原理;扫描电镜的结构和工作原理;电子枪与灯丝;; 常用的是热阴极三极电子枪。它由发夹形钨丝阴极、栅极帽和阳极组成。 按照偏压方式可分为自偏压和他偏压枪。 自偏压式枪的负高压直接加到栅极上，通过一个自偏压回路（偏压电阻）起到限制和稳定束流的作用。 由于栅极电位比阴极更负，所以自阴极端点引出的等电位面在空间呈弯曲曲面，在阴极和阳极之间的某一地点，电子束会集成一个交叉点，交叉点处电子束直径约几十微米。这就是所谓的电子源，又称为虚光源。;场发射电子枪;VF=Flashing Voltage;;热场发射灯丝涂层的消耗;第12页/共43页;;电磁透镜——聚光镜;偏转系统;信号检测放大系统 ;;2.背散射电子 被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子，包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。;3.吸收电子 由于非弹性散射能量损失殆尽，最后被样品所吸收的电子 。;5．特征X射线 原子的内层电子被入射电子激发或电离释放出的具有特征能量X射线。 ;入射电子与样品作用体积 ;第22页/共43页;像衬原理及其应用;像衬原理及其应用;BE信号强度与Z的关系;26 ;原子序数衬度原理及其应用;原子序数衬度原理及其应用;二次电子相 背散射电子像 （白色：Sn；灰色：Al2O3）;二次电子+背散射电子拓扑像;环境扫描电镜的特殊结构与性能;ESEM特殊结构与性能;（1）放大倍数 定义： 荧光屏上的扫描振幅 电子束在样品上的扫描振幅 放大倍数与扫描面积的关系(若荧光屏画面面积为10×10cm2): 放大倍数 扫描面积 10× (1cm)2 100× (1mm)2 1,000× (100μm)2 10,000× (10μm)2 100,000× (1μm)2; 扫描电镜放大倍数从几十放大到几十万倍，连续可调。放大倍率不是越大越好，要根据有效放大倍率和分析样品的需要进行选择。如果放大倍率为M，人眼分辨率为0.2mm，仪器分辨率为5nm，则有效放大率M＝0.2×106nm?5nm=40,000（倍）。如果选择高于40,000倍的放大倍率，不会增加图像??节，只是虚放，一般无实际意义。放大倍率是由分辨率制约，不能盲目看仪器放大倍率指标。;（2）分辨率 定义：样品上可以分辨的两个邻近的质点或线条间的距离。 测量方法：拍摄图象上，亮区间最小暗间隙宽度除以放大倍数。（现在可以用傅里叶变换来完成。） 影响SEM图像分辨率的主要因素有： ①扫描电子束斑直径 ； ②入射电子束在样品中的扩展效应； ③操作方式及其所用的调制信号； ④信号噪音比； ⑤杂散磁场； ⑥机械振动将引起束斑漂流等，使分辨率下降。 目前，场发射扫描电子显微镜的分辨率已经可以达到埃量级。;;能谱仪 ; 在Si(Li)晶体两端偏压来收集电子空穴对→（前置放大器）转换成电流脉冲→（主放大器）转换成电压脉冲→（后进入）多通脉冲高度分析器，按高度把脉冲分类，并计数，从而描绘I－E图谱。 ;39 ;波谱仪 ;波谱仪的两种工作模式;42 ;感谢您的欣赏