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具有工厂界面腔室加热的基板制造设备和方法.pdfVIP

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  • 2023-05-23 发布于四川
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具有工厂界面腔室加热的基板制造设备和方法.pdf

    电子器件处理设备包括具有净化气体加热的工厂界面腔室净化设备。工厂界面腔室净化设备包括一个或多个加热器件，其被配置为加热净化气体。在一些实施方式中，在为工厂界面维护打开进出门之后，向腔室过滤器组件提供加热的净化气体可以快速减少水气污染。在另外的实施方式中，向工厂界面腔室提供加热的净化气体可以有助于当提供低湿度环境时，在处理之后从基板上解吸某些化学化合物。本案描述了净化控制方法和设备，以及诸多其他方面。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112166492 A (43)申请公布日 2021.01.01 (21)申请号 201980034798.2 迪安 ·C ·赫鲁泽克　 (22)申请日 201

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