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磁控管靶联接器和支承设备.pdfVIP

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  • 2023-05-23 发布于四川
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磁控管靶联接器和支承设备.pdf

    涉及一种磁控管靶联接器和支承设备。根据各种实施方式，磁控管靶联接器(301)包括：靶联接器法兰(702)；轴(808)，该轴在端侧与靶联接器法兰(702)刚性联接，并且在与靶联接器法兰(702)相对置的一侧上具有第一线性支承件部件(8081)；通信接口(704)，该通信接口具有相互电耦联的第一通信电极(704a)和第二通信电极(704b)；其中第二通信电极(704b)在与轴(808)相对置的一侧上刚性地固定在靶联接器法兰(702)处，其中靶联接器法兰(702)设置在第一通信电极(704a)和第二

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116121717 A (43)申请公布日 2023.05.16 (21)申请号 202211306732.4 (22)申请日 2022.10.24 (30)优先权数据 102021129533.5

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