一种太阳能电池扩散深结制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-23 发布于四川
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本发明涉及太阳能电池生产领域。一种太阳能电池扩散深结制备方法,步骤一、制备一层SiO2层;步骤二、通过两次沉积在硅片表面制备恒定杂质磷源;步骤三、将磷原子推进至硅片内,形成PN结;步骤四、进行补扩散;步骤五、制备后氧化层;步骤六、在硅片表面再次沉积杂质磷源。步骤一前制备减反射绒面。本发明的有益效果是:在不改变整体方阻及工艺时间的情况下,有效增加PN结深和结区磷浓度差,提高电池片Uoc及FF,从而提高电池转换效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112164733 A (43)申请公布日 2021.01.01 (21)申请号 202010921289.6 (22)申请日 2020.09.04 (71)申请人 山西潞阳光伏科技有限公司

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