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一种大高宽比金刚石针尖AFM探针的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-05-23 发布于四川
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一种大高宽比金刚石针尖AFM探针的制造方法.pdf

    一种大高宽比金刚石针尖AFM探针的制造方法，属于微纳机械传感器技术领域。选用SOI晶片作为原料，沉积纳米金刚石，再依次沉积Cr2O3、涂PMMA、金属Al、聚苯乙烯层；对聚苯乙烯层显影；刻蚀将聚苯乙烯层、PMMA层中的图形转移，刻蚀得到针尖金刚石部分和针尖硅部分；刻蚀使硅层暴露，清除残留Cr2O3，衬底涂光刻胶；对光刻胶进行显影，刻蚀直至硅层完全暴露；清洗残留，去除硅层；按照上述步骤制成AFM探针。上述一种大高宽比金刚石针尖AFM探针的制造方法，可实现探针的批量制造，简化工艺的同时大大降低制造成

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112162115 A (43)申请公布日 2021.01.01 (21)申请号 202010921910.9 (22)申请日 2020.09.04 (71)申请人 杭州探真纳米科技有限公司

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