正性光刻胶用聚酰亚胺树脂及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-24 发布于四川
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正性光刻胶用聚酰亚胺树脂及其制备方法.pdf

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正性光刻胶用聚酰亚胺树脂及其制备方法，本发明针对正性聚酰亚胺光刻胶树脂的应用，设计并合成了侧链末端带有羧基的聚酰亚胺树脂，并在聚合过程中完成亚胺化，避免了市售商品采用前驱体PAA在应用过程中带来的弊端，同时支链中的羧基保证光敏聚酰亚胺树脂在碱性水溶液中正常显影，形成高质量的图形，也避免了图形化之后过高的后烘烤温度。由于该树脂在制备过程中已经完成亚胺化，所以光刻图形后不需要300度以上高温处理；而羧基定位在长的烷基支链末端，更容易发生低温固化，该光敏树脂也更容易保存。由该聚酰亚胺树脂所制备的光刻胶

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111423582 A (43)申请公布日 2020.07.17 (21)申请号 20201