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一种优化电容形状的MEMS压电换能器.pdfVIP

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  • 2023-05-24 发布于四川
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一种优化电容形状的MEMS压电换能器.pdf

    本发明提供一种优化电容形状的MEMS压电换能器，表面覆盖有m组电容(101,102,103,104,109)，m为≥2的自然数。当所述MEMS压电换能器加载一定载荷时，第一组电容中的任意一个所覆盖区域的应力＞第二组电容中的任意一个所覆盖区域的应力＞……＞第m‑1组电容中的任意一个所覆盖区域的应力＞第m电容中的任意一个所覆盖区域的应力。同一组电容之间进行串联和/或并联；不同组电容之间进行串联。根据MEMS压电换能器在加载一定载荷时的应力分布情况，对电容形状、位置、数量进行了优化设计。这可以显著减少

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110546776 A (43)申请公布日 2019.12.06 (21)申请号 20178

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