晶圆级超声波感测装置及其制造方法.pdfVIP

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2023-05-24 发布于四川
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晶圆级超声波感测装置及其制造方法.pdf

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本发明提供一种晶圆级超声波感测装置及其制造方法，所述晶圆级超声波感测装置包括基板组件、超声波元件、第一保护层、第一导电线路、第二导电线路、第二保护层、传导材料、电性连接层及焊接部。基板组件包含第一晶圆及第二晶圆，第二晶圆覆盖第一晶圆上的凹槽而界定出中空腔体。超声波元件与中空腔体的投影叠合。第一保护层围绕超声波元件。第一晶圆、第二晶圆、第一保护层在第一侧表面与第一导电线路共平面，在第二侧表面与第二导电线路共平面。第二保护层具有开口，传导材料在开口内且接触超声波元件。电性连接层设置于第一侧表面及第二

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112216784 A (43)申请公布日 2021.01.12 (21)申请号 20191