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公开了一种体声波谐振器的制造工艺，包括在衬底上制作声反射镜，在衬底上制作用于覆盖声反射镜的底电极层；对底电极层的外围部分进行化学处理以形成改性层，改性层环绕底电极层；在底电极层上制作压电层；在压电层上制作顶电极层。还公开了一种体声波谐振器，包括衬底、形成在衬底上的声反射镜以及依次形成具有声反射镜的衬底上的底电极层、压电层和顶电极层，其中底电极层的临近声反射镜的边缘的部分被化学处理以形成改性层。凭借改性层的形成削弱或消除了有效工作区域外电极之间的电场强度，电极无法激励其间的压电层产生机械波而抑制了
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112202415 A
(43)申请公布日 2021.01.08
(21)申请号 202011024256.8
(22)申请日 2020.09.25
(71)申请人 杭州星阖科技有限公司
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