一种微机电惯性单元规模化生产测试系统及方法.pdfVIP

一种微机电惯性单元规模化生产测试系统及方法.pdf

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本发明提出一种微机电惯性单元规模化生产测试系统,采用先进的并行、自动化测试理念,将多套微机电惯性系统,多试验项目进行合理布局与编排,构建测试体系,实现批量微机电惯性单元测试、标定、温度循坏、振动、温度‑振动复合环境测试等试验项目并行自动化测试,具体实施方案为:将一批(32套)微机电惯性单元安装在双轴转位机构内,双轴转位机构安装于振动台台面,振动台台面置于高低温试验箱中,通过控制高低温试验箱、双轴转位机构和振动台三者运行参数的组合,实现不同测试条件下微机电惯性单元测试和标定。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112212886 A (43)申请公布日 2021.01.12 (21)申请号 201910617350.5 (22)申请日 2019.07.10 (71)申请人 九江精密测试技术研究所

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