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铸块的切断方法.pdfVIP

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  • 2023-05-24 发布于四川
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铸块的切断方法.pdf

    本发明提供一种铸块的切断方法，该方法通过线锯进行，该线锯以螺旋状卷绕于多个导线器间的于轴向移动的钢线而形成钢线列，将由工件输送机构保持的铸块切入进给至该钢线列，向该铸块与该钢线的接触部供给浆料并将该铸块切断为多个晶圆，其特征在于，预先确认通过切断前一次的铸块所得的晶圆的钢线移动方向的翘曲的朝向；接着，通过以工件输送方向的翘曲的朝向与经确认的该钢线移动方向的翘曲的朝向一致的条件进行该铸块的切断，而得到钢线移动方向的翘曲的朝向与工件输送方向的翘曲的朝向相同的晶圆。由此，提供能够得到在经过外延处理后的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110447089 A (43)申请公布日 2019.11.12 (21)申请号 20188

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