一种晶圆传送盒和晶圆装载装置.pdfVIP

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2023-05-24 发布于四川
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一种晶圆传送盒和晶圆装载装置.pdf

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本发明公开了一种晶圆传送盒和晶圆装载装置，其中晶圆传送盒包括盒体和与盒体密封连接的密封门，密封门通过门锁组件与盒体固定，其中盒体的侧面设置开口，开口所在的侧面为定位面，晶圆的部分从开口处延伸出盒体。密封门设置在盒体的开口处并能沿盒体上下移动，密封门上设置有能与其同步升降的一对映射传感器，一对映射传感器位于开口两侧，并对延伸出盒体的晶圆的部分进行检测。门锁组件包括至少一个对应设置的锁沟和锁盘，锁沟开设凸台上，锁盘与密封门转动连接，且锁盘在钥匙的作用下转动时，能与锁沟旋合。本发明集成了晶圆存放和晶圆

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115985823 A (43)申请公布日 2023.04.18 (21)申请号 202211708515.8 (51)Int.Cl .