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抽样缺陷检测方法、装置、设备和系统.pdfVIP

抽样缺陷检测方法、装置、设备和系统.pdf

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    本申请提供了一种抽样缺陷检测方法、装置、设备和系统，通过获取一时间段内工艺站点内多个机台所处理的晶圆组的跑货信息、及所述工艺站点的抽样缺陷检测规则；依据所述跑货信息与所述抽样缺陷检测规则，判断各所述机台所处理的所述晶圆组中未被抽样进行缺陷检测的间隔数量是否超过预设间隔值；若是，则升级被抽样进行缺陷检测的所述晶圆组的等级以优先进行缺陷检测；若否，则按正常工艺流程进行。本申请能够平衡工艺站点内各机台所跑过晶圆组被抽检的间隔时间，提高风险的及时控制。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112185830 A (43)申请公布日 2021.01.05 (21)申请号 20191

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