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2023-05-24 发布于四川
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一种基于IPMC驱动的全固态可调焦微透镜.pdf

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本发明涉及光学领域和MEMS领域，具体涉及一种可调焦微透镜，其结构为：柔性聚合物放置在玻璃薄膜和支撑玻璃之间，玻璃薄膜硬度较小，容易变形，支撑玻璃硬度较大，不易变形。智能材料IPMC环形驱动器放置在最顶层。金属外壳在整个结构的最外侧，起支撑保护的作用。当向环形IPMC施加电压时，IPMC外侧固定，内侧产生向下的位移，使薄玻璃膜、柔性聚合物产生变形，形成平凸透镜结构。通过施加的电压不同，IPMC产生的驱动力不同，平凸透镜的凸面曲率不同，焦距则不同。微透镜是一种典型的MEMS集成产品，具有体积小、功

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112162338 A (43)申请公布日 2021.01.01 (21)申请号 202011309434.1 (22)申请日 2020.11.20 (71)申请人太原师范学院地址

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