一种合金紫外透明导电薄膜及其制备方法和应用.pdfVIP

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2023-05-24 发布于四川
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一种合金紫外透明导电薄膜及其制备方法和应用.pdf

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本发明提供了一种合金紫外透明导电薄膜及其制备方法和应用，该薄膜为掺杂A的ZrxSn1‑xO2的n型导电薄膜，其中，A为Sb或Nb；本发明的合金紫外透明导电薄膜，通过将Zr掺杂进入SnO2成功调高了其光学带隙，通过将施主杂质A掺杂进入SnO2成功提高了其导电性能；制备得到的导电薄膜对深紫外以及可见光有很好的透过性；本发明的导电薄膜，是单相(100)取向的金红石结构，其具有很好的热稳定性，紫外可见透过率超过90％，导电性能良好；本发明提供的合金紫外透明导电薄膜的制备方法，所需的设备和操作工艺较为简单

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112176291 A (43)申请公布日 2021.01.05 (21)申请号 202011103312.7 (22)申请日 2020.10.15 (71)申请人湖北

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