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2023-05-24 发布于四川
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一种正型感光性树脂组合物、固化膜及固化膜图案加工方法.pdf

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本发明提供一种正型感光性树脂组合物和固化膜及固化膜的图像加工方法，本发明提供的一种正型感光性树脂组合物能够在曝光后通过碱性显影液显影，曝光敏感度良好，图案良好且分辨率高，固化膜的热膨胀系数良好；本发明提供的正型感光性树脂组合物包含：碱溶性树脂(a)100重量份、光产酸剂(b)10‑30重量份、热交联剂(c)20‑60重量份及有机溶剂(d)，碱溶性树脂(a)包含具有通式(1)结构的二胺和/或结构式(2)的结构的四酸，碱溶性树脂(a)中还包含通式(a5)结构的二酐的二氰基甲叉衍生物，碱溶性树脂(a)

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112180685 A (43)申请公布日 2021.01.05 (21)申请号 202011174857.7 (22)申请日 2020.10.28 (71)申请人武汉柔显科技股份有限公司

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