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本发明公开了一种高性能锆基稀土合金薄膜吸气靶材及其制备方法，所述锆基稀土合金薄膜吸气剂靶材的合金配方如下：以质量百分比分别配比钛基二元合金配方锆基二元合金Zr1‑xREx(wt％)、锆基三元合金Zr1‑x‑yRE1xRE2y(wt％)、锆基四元合金Zr1‑x‑y‑zRE1xRE2yRE3z、大于四元合金的锆基多元稀土元素的复合添加；其制备方法如下：将上述配料通过真空熔炼制备合金铸锭、对铸锭进行致密化处理、靶材尺寸加工，在磁控溅射上进行溅射，制备成吸气薄膜，吸气剂薄膜的激活温度200～400℃，激
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112176301 A
(43)申请公布日 2021.01.05
(21)申请号 202010970573.2
(22)申请日 2020.09.16
(71)申请人 上海晶维材料科技有限公司
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