玻璃原料供给装置及玻璃原料供给装置的过滤器更换方法.pdfVIP

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2023-05-24 发布于四川
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玻璃原料供给装置及玻璃原料供给装置的过滤器更换方法.pdf

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本发明提供一种能够缩短过滤器更换的时间的玻璃原料供给装置及玻璃原料供给装置的过滤器更换方法。具有：汽化装置，其使玻璃原料汽化；第一配管，其成为原料气体的流路；过滤器部，其去除原料气体的杂质；第二配管，其成为将杂质去除后的原料气体的流路；以及MFC，其对原料气体的流量进行控制。过滤器部具有第一阀、气管过滤器和第二阀。汽化装置与第一配管的一端部连接，第一配管的另一端部与第一阀的一方的开口连接，第一阀的另一方的开口与气管过滤器的气体流入侧连接，气管过滤器的气体排出侧与第二阀的一方的开口连接，第二阀的另

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112174496 A (43)申请公布日 2021.01.05 (21)申请号 202010637401.3 (22)申请日 2020.07.03 (30)优先权数据 2019-1242

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