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- 2023-05-24 发布于四川
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本发明关于光学系统，尤其关于光刻系统，其包含：板形部件(214)，尤其是光阑元件；较佳为框形的保持器(216)，用于保持部件(214)；以及多个腹板(218a,b)，用于将板形部件(214)连接到保持器(216)。板形部件(214)可拆卸地连接到较佳为线形的腹板(218a、b)，该板形部件(214)附接到承载结构，该腹板(218a,b)可拆卸地连接到该承载结构。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116157717 A
(43)申请公布日 2023.05.23
(21)申请号 202180063675.9 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所
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