一种大尺寸超薄基板上光学滤光片的制备方法.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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一种大尺寸超薄基板上光学滤光片的制备方法.pdf

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本发明涉及光学成膜技术领域，尤其是一种大尺寸超薄基板上光学滤光片的制备方法，其特征在于：在滤光片基板的两侧表面同时并行镀制与工艺相对应的涂层，位于两侧的两个涂层的应力满足于可以相互抵消的要求。本发明的优点是：在满足红外截止滤光片分光要求的前提下，可有效解决因镀膜应力导致的基板弯曲:不但镀后基板无翘曲变形，且整个镀膜过程中基板都无变形，提高了整个制程过程中的加工精度；另一方面，也极大地缩短了镀膜的制程时间，简化了工艺流程。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112230320 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202011269158.0 (22)申请日 2020.11.13 (71)申请人光驰科技（上海）有限公司