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X射线双晶衍射仪表征薄膜性质的机理研究
Study on the mechanism of X-ray double crystal diffractometer to characterize the properties of thin films
摘 要
基于运动学理论的X射线双晶衍射实验和表征方法以及双晶衍射的振动曲线是研究多层和超晶格半导体薄膜结构的有效表征方法。根据X射线布拉格方程的运动学方程，推导了多层膜和超晶格结构的X射线衍射振荡曲线理论模拟的迭代解。对几种多层膜和超晶格的结构参数和结构进行了详细的研究和分析。
关键词：X-射线双晶衍射，运动学，摇摆曲线，超晶
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