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本发明提供了一种基板处理装置和基板传送装置。基板处理装置包括：多个装载端口，所述多个装载端口上放置有载体，所述载体具有接收在其中的基板；多个工艺腔室，所述多个工艺腔室在所述基板上执行工艺；以及传送机械手，所述传送机械手在所述装载端口和所述工艺腔室之间传送所述基板。所述传送机械手沿着传送通道为可移动的，所述传送通道具有沿着第一方向形成的纵向方向，所述装载端口和所述工艺腔室在所述传送通道的一侧和相对侧上沿着所述第一方向布置，并且所述传送机械手在放置于所述装载端口上的所述载体与所述工艺腔室之间传送所述
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112242336 A
(43)申请公布日 2021.01.19
(21)申请号 202010677474.5
(22)申请日 2020.07.14
(30)优先权数据
10-2019-0
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