薄膜晶体管基板、包括其的显示设备，和它们的制造方法.pdfVIP

薄膜晶体管基板、包括其的显示设备，和它们的制造方法.pdf

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本申请涉及薄膜晶体管基板、包括其的显示设备，和它们的制造方法，其中制造薄膜晶体管基板的方法包括：通过进行表面清洁而去除非晶硅层的表面上的氧化物膜；和通过在非晶硅层上进行热处理而形成有源层，其中非晶硅层通过热处理变成晶体硅。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112216612 A (43)申请公布日 2021.01.12 (21)申请号 202010655636.5 H01L 27/32 (2006.01) (22)申请日 2

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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