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- 2023-05-25 发布于四川
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本发明涉及谐振器技术，具体涉及一种多频段可调谐的三维体声波谐振器，包括衬底、声反射层和压电振荡堆结构；声反射层位于压电振荡堆结构的下方，压电振荡堆结构包括底电极、压电材料层、侧面电极及顶电极；侧面电极和顶电极分别设置于压电材料层侧面和顶部。该器件在给上下、左右、前后三对电极中的一对添加激励信号时，由于压电材料在三个维度上的尺寸不同，即表现为不同的谐振频率；该器件能够将激励信号和直流偏压加载在不同电极对上，且在较低的直流偏压下可以产生较大的位置偏移，进而调整谐振器的谐振频率。通过切换信号加载电极，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112234949 A
(43)申请公布日 2021.01.15
(21)申请号 202011181545.9
(22)申请日 2020.10.29
(71)申请人 武汉大学
地址 43
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