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本发明提供了一种自动对正对焦的LIBS系统，包括：可将待检测样品进行平移和旋转，计算机控制五轴电动位移平台移动直至样品表面在面阵CCD的成像最清晰时，激光恰好聚焦在待检测样品表面，计算机控制五轴电动位移系统将待检测样品移动至样品表面在面阵CCD相机成像最清晰处，即实现自动对正对焦。本发明只需要扫描一次获取待检测样品表面高度数据和一次自动对焦，即可计算出所有位置对正对焦的位点，切换每个烧蚀位点时候，快速将待检测样品表面移动至激光聚焦位置，且保证激光束与样品表面在空间上垂直。本发明可实现表面凹凸不平
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112240883 A
(43)申请公布日 2021.01.19
(21)申请号 202011063367.X
(22)申请日 2020.09.30
(71)申请人 华中科技大学
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