一种用于晶圆光刻的高精度对准设备.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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一种用于晶圆光刻的高精度对准设备.pdf

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本发明公开了一种用于晶圆光刻的高精度对准设备，其结构包括控制屏、对准机构、固定台、固定座，对准机构设有工作头、固定机构、伸缩杆、固定块，晶圆芯片在受力机构中向上滑动，且弯曲板与弹簧杆对偏移力的阻力较大，从而避免键合时产生偏移，防止对准后晶圆芯片产生偏差力，避免晶圆芯片表面光刻槽容易进行扭曲，避免对准后的光刻效果受偏差影响，晶圆芯片外沿对工作板中的滑动机构作用，过程中外沿在滑动板上滑动，使其滑落后贴合在摩擦板内侧，且具有较大的贴合力，避免摩擦板受力时进行摩擦旋转，对晶圆芯片产生弹力的同时避免弹力再

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112230525 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202011170974.6 (22)申请日 2020.10.28 (71)申请人临漳县澳皇网络科技有限公司