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提供位移传感器的传感器目标使用强磁性材料时更廉价地扩展传感器灵敏度的线形性的范围且发生扰动时也难以触底的真空泵及传感器目标。轴向位移传感器（109）构成为，相对于筒管（109B）卷绕绕组（7），前述筒管（109B）安装于轴部（109A）的上端，前述轴部（109A）被贯通固定于保持轴向电磁铁（106）的保持部件（5）的中心。与该绕组（7）隔开间隙（2）地在转子轴（113）的下端部突设有小径柱状的轴端部（113B）。在轴端部（113B）的外周围刻设有外螺纹，相对于该轴端部（113），在内侧刻设有内螺
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112219033 A
(43)申请公布日 2021.01.12
(21)申请号 201980036807.1 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公
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