半导体式气敏传感器的工作原理教学.pptxVIP

;;; 半导体式气敏传感器; 按照半导体与气体相互作用时产生的变化只限于半导体表面或深入到半导体内部，可分为表面控制型和体控制型。 按照半导体变化的物理特性，又分为电阻型和非电阻型，电阻型半导体气敏元件是利用敏感材料接触气体时，其阻值变化来检测气体的成分或浓度。非电阻型半导体气敏元件是利用其他参数，如二极管伏安特性和场效应晶体管的阈值电压变化来检测被测气体的。; 半导体式气敏传感器的工作原理; 半导体气敏传感器是利用气体在半导体表面的氧化和还原反应导致敏感元件阻值变化而制成的。 当半导体器件被加热到稳定状态，在气体接触半导体表面而被吸附时，当半导体的功函数小于吸附分子的亲和力时，吸附分子将从器件夺得电子而变成负离子吸附，半导体表面呈现电荷层。; 例如：氧气被称为氧化型气体或电子接收性气体。如果半导体的功函数大于吸附分子的离解能，吸附分子将向器件释放出电子，而形成正离子吸附。如H2、CO、碳氢化合物和醇类，它们被称为还原型气体或电子供给性气体。; 当氧化型气体吸附到N型半导体上，还原型气体吸附到P型半导体上时，使电阻值增大。当还原型气体吸附到N型半导体上，氧化型气体吸附到P型半导体上时，使半导体电阻值下降。 若气体浓度发生变化，其阻值也将变化。根据这一特性，可以从阻值的变化得知吸附气体的种类和浓度。半导体气敏时间（响应时间）一般不超过1min。N型材料有SnO2、ZnO、TiO等，P型材料有CrO3等。;