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一种制备TaC的方法.pdfVIP

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  • 2023-05-25 发布于四川
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一种制备TaC的方法.pdf

    本发明公开了一种制备TaC的方法。该制备方法是在HFCVD中利用钽丝作为钽源和加热源，在石墨衬底上一步法直接制备得到TaC，对于拓宽TaC在工业领域的应用有重要价值。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113215551 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 202110355584.4 C01B 32/21 (2017.01) (22)申请日 2

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