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光栅剪切干涉高精度波像差检测方法，该方法采用的光栅剪切干涉仪系统包含：光学级照明系统、待测光学成像系统、物面衍射光栅版、像面衍射光栅版、二维光电传感器和计算处理单元。物面衍射光栅版和像面衍射光栅版分别置于待测光学成像系统的物面和像面。通过相移法精确提取1级衍射光与‑1级衍射光的剪切相位，按照2s剪切率进行重建得到原始波前，提高了待测光学成像系统的波像差检测精度，其中s为光栅剪切干涉仪的剪切率。该方法具有可测的数值孔径范围大、光栅干涉仪的剪切率可调，可精确测量光学成像系统的波像差等优点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112229604 A
(43)申请公布日 2021.01.15
(21)申请号 202010934328.6
(22)申请日 2020.09.08
(71)申请人 中国科学院上海光学精密机械研究
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