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一种抛光液在线调配内供给抛光机床.pdfVIP

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  • 2023-05-25 发布于四川
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一种抛光液在线调配内供给抛光机床.pdf

    本发明涉及一种抛光液在线调配内供给抛光机床，属于化学机械抛光领域。抛光液回收箱和机床支架分别与机床底座固定连接，抛光液在线调配装置与抛光液回收箱上方固定连接，Z向进给机构与机床支架固定连接，Z向进给机构与A轴摆动机构相连，A轴摆动机构与抛光头工具系统相连，机X向进给机构与床底座固定连接，X向进给机构上方与Y向进给机构相连，Y向进给机构上方与C轴转台相连。本发明对于提升我国高品质光学元件的制造水平和制造能力，推进光学曲面精密制造理论创新，加快我国航空航天、机械制造等产业的快速发展，具有重要学术价值

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 107052992 A (43)申请公布日 2017.08.18 (21)申请号 20161

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