两步高通量法外延生长第二代镍基单晶高温合金的方法.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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一种两步高通量法外延生长第二代单晶高温合金的方法，合金化学成分为：Co6.0～10.0％，Cr5～9％，Al11.0～17％，Mo1.0～2.5％，W1.0～3.0％,Ti0.5～2.0％,Ta1.0～2.5％,Re0.8～1.2％,Hf0.05～0.1％,C0.02‑0.06％,B0.02‑0.06％，Ni余量。制备方法根据合金成分要求选单靶、双靶或三靶组合，利用多靶掠射角磁控溅射方法，高通量制备成分连续变化的金属或合金涂层。将磁控溅射得到的样品通过等离子、电子束和激光束的高能束法将表面所沉积

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112226816 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 202011026016.1 (22)申请日 2020.09.25 (71)申请人北京科技大学地址

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