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一种动态随机存取存储器的制造方法。于衬底中形成多个开口。于各开口的上部的侧壁形成硬遮罩。部分地移除衬底以及硬遮罩，以形成沿第一方向延伸且沿第二方向排列的多个隔离沟渠，并定义出多个有源区。各有源区位于隔离沟渠之间，且硬遮罩留下来的部分位于各有源区的两侧。以介电层填满隔离沟渠与开口。介电层的材料与硬遮罩的材料不同。部分地移除衬底与介电层，以形成多个埋入式字线沟渠。各埋入式字线沟渠沿第三方向延伸，穿过有源区、开口与隔离沟渠。于埋入式字线沟渠中形成多个埋入式字线。本发明的动态随机存取存储器可以增加工艺的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112309983 A
(43)申请公布日
2021.02.02
(21)申请号 20191
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