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本发明公开了一种高直线度移动结构，移动组件包括空气衬套及运动轴，运动轴安装于空气衬套中并与空气衬套之间形成气膜，导向组件包括底座、滑动件、弹性结构以及轴承，滑动件滑动安装于底座，弹性结构位于底座及滑动件之间向滑动件提供弹力，轴承转动安装于滑动件，轴承与运动轴抵触向运动轴提供导向力，由于空气衬套与运动轴不接触，没有磨耗、污染，适合应用在高无尘要求的环境，没有磨擦导致的运动轴变形，性能稳定；空气衬套通过微米等级的气膜，将运动轴保持在中心，影响直线度只有运动轴本身的真圆度(车床加工较易实现)；轴承在旋
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112268068 A
(43)申请公布日 2021.01.26
(21)申请号 202011018914.2
(22)申请日 2020.09.23
(71)申请人 长园半导体设备（珠海）有限公司
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