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2023-05-26 发布于四川
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提供一种检查装置，能够以节省空间的方式可靠地测量晶片的斜面等的异形部分。检查装置（100）具备：对作为对象的晶片（WA）的外周区域（AP）进行照明的外周照明部（11、111）、对晶片（WA）的外周区域（AP）进行拍摄的外周拍摄部，外周照明部（11、111）具有圆弧照明部（11a、111a），所述圆弧照明部沿着圆周（CI）的部分区域配置而对基准轴（SA）上的既定区域（A1）进行照明，所述圆周（CI）以基准轴（SA）为中心，圆弧照明部（11a、111a）的基准轴（SA）沿与晶片（WA）的外周部（UA

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112272766 A (43)申请公布日 2021.01.26 (21)申请号 201980029439.8 (74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公

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