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装载晶圆用的载具位置的检测方法、装置及介质.pdfVIP

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  • 2023-05-26 发布于四川
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装载晶圆用的载具位置的检测方法、装置及介质.pdf

    本发明实施例公开了一种装载晶圆用的载具位置的检测方法、装置及介质；所述检测方法包括：通过机械手将目标载具放置于下定盘中的对应目标位置处，并利用CCD相机采集所述目标载具的图像作为目标图像；在双面抛光开始前将多个待测载具分别放置于所述下定盘上，并采集每个所述待测载具对应的实际图像；将每个所述待测载具对应的实际图像分别与所述目标图像进行对比，确定每个所述待测载具是否位于所述目标位置处。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115985800 A (43)申请公布日 2023.04.18 (21)申请号 202211651926.8 H01L 21/67 (2006.01) (22)申请日 2022.12.

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