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光子集成片上激光陀螺及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-26 发布于四川
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光子集成片上激光陀螺及其制备方法.pdf

    本发明涉及集成光学陀螺技术领域，特别涉及一种光子集成片上激光陀螺及其制备方法，光子集成片上激光陀螺包括：自上而下设置的电子集成层、光子集成层及衬底层；上层电子集成层采用SIP电学芯片；中层光子集成层采用异质集成；下层衬底层为硅片；光子集成层与电子集成层通过键合工艺完成电互连。光子集成片上激光陀螺的制备方法包括：在硅晶圆上制备楔形微环腔；制备氮化硅光波导并实现光互连；异质集成有源器件；在硅片的二氧化硅表层制备图形化金属实现电互连；集成SIP电学芯片。本发明提供的光子集成片上激光陀螺及其制备方法，解

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112284370 B (45)授权公告日 2021.05.25 (21)申请号 202011508079.0 (51)Int.Cl.

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