原创力文档- 1、本文档共31页，其中可免费阅读30页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
提供了一种基于椭偏成像(IE)的检查方法以及制造半导体器件的方法。所述检查方法包括：从基于IE的检查装置的具有第一视场(FOV)的第一模式和具有第二FOV的第二模式中选择一种模式；基于所选择的模式通过所述基于IE的检查装置测量检查目标；以及基于测量结果确定所述检查目标是否正常，其中，所述的测量检查目标包括同时测量在所述检查目标的区域中设置的多个单元中包括的图案，所述区域对应于所选择的模式的FOV。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112289696 A
(43)申请公布日
2021.01.29
(21)申请号 20201
您可能关注的文档
- 用于使用立体内窥镜测量距离的系统和方法.pdf
- 植入物配合分析.pdf
- 扩散结合方法.pdf
- 包括用于将外围部件可拆卸地紧固至治疗设备的连接机构的医疗系统.pdf
- 基于同步信号块(SSB)的定位测量信号.pdf
- 开关模式电源转换器.pdf
- 用于多雷达共存的调频连续波(FMCW)波形参数的选择.pdf
- 肿瘤功能突变和表位负荷作为免疫治疗反应的改进的预测性生物标志.pdf
- 离心分离器.pdf
- 用于提供发型推荐的系统和方法.pdf
- 苏教版8年级上册数学全册教学课件（2021年10月修订）.pptx
- 比师大版数学4年级下册全册教学课件.pptx
- 冀教版5年级上册数学全册教学课件.pptx
- 办公室普通党员2024年组织生活会个人对照检查发言材料供参考.docx
- 领导班子成员2025年组织生活会“四个带头”对照检查材料范文.docx
- 2024年度专题组织生活会个人“四个带头”对照检查材料范文.docx
- 党支部领导班子2025年民主生活会“四个带头”个人对照检查材料范文.docx
- 2024年抓基层党建工作述职报告参考范文.docx
- 2024年度民主生活会征求意见情况的报告范文2篇.docx
- 普通党员2024年组织生活会个人“四个带头”对照检查发言材料2篇.docx
文档评论（0）