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本发明提供一种集成电路版图微缩方法，属于集成电路制造技术领域。集成电路版图微缩方法，包括：获取初始版图，并对初始版图内相互接触的图形单元进行合并，合并后的相互接触的图形单元构成图形单元组；根据预设微缩比例微缩处理经图形单元合并后的初始版图，以得到微缩版图。能够减少进行版图微缩后出现相接触的图形单元接触断开的情况，提高后续制得的集成电路的制造良率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112255882 A
(43)申请公布日 2021.01.22
(21)申请号 202011152838.4
(22)申请日 2020.10.23
(71)申请人 泉芯集成电路制造(济南)有限公司
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