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本发明涉及一种探针模块，用于同时检测侧边缘相邻的第一、二待测单元，第一、二待测单元分别具有邻近其第一主边缘及相邻侧边缘的第一、二交界接点；所述探针模块包含有一探针座，以及设于所述探针座的不同高度的第一、二交界探针，当所述探针模块检测第一、二待测单元时，各所述待测单元的第一主边缘比第二主边缘更靠近所述探针座，第一、二交界探针以其悬臂段分别经过第一、二待测单元的第一主边缘上方而分别延伸至第一、二交界接点上方进而以其点触段点触第一、二交界接点；由此，第一、二交界探针可避免相互干涉。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112285394 A
(43)申请公布日
2021.01.29
(21)申请号 20201
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