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本发明提供一种晶圆测试方法、系统及计算机可读存储介质。该方法包括导出待测试的晶圆上的若干个芯片的属性文件；根据属性文件将晶圆上的若干个芯片进行分类，划分为边缘芯片、需测试的芯片及标记芯片，以生成芯片测试图；根据选择的探针卡及芯片测试图选择最优探测顺序。本发明的方法的上述步骤均在探针台线下进行，降低了探针台的占用时间，提高了机台利用率。该方法能够针对不同的晶圆以及晶圆上芯片的属性采取最优的测试方案，节约测试时间，减少晶圆边缘位置对探针的损耗；另一方面，所述方法能够不受探针台自带算法的限制，应用灵活
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112285525 B
(45)授权公告日 2023.04.07
(21)申请号 201910674917.2 (56)对比文件
(22)申请日 2019.07.25
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