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抛光设备及抛光垫检测方法.pdfVIP

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  • 2023-05-26 发布于四川
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抛光设备及抛光垫检测方法.pdf

    本发明实施例提供一种抛光设备及抛光垫检测方法，涉及抛光技术领域，抛光设备包括：抛光垫；承载盘，抛光垫设置在承载盘上；厚度检测装置，用于在抛光设备运行过程中检测抛光垫的厚度。在抛光设备上加装厚度检测装置，在抛光设备运行过程中检测抛光垫的厚度，一方面可以通过该厚度检测装置实现自动检测抛光垫的厚度，相比现有方式节省人力，且自动检测能够保证实时监控抛光垫的厚度，能够及时发现抛光垫是否出现质量问题，实现对抛光垫的有效维护；另一方面，自动检测与生产同步进行，不需要中断生产，能够有效保护产能。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115972061 A (43)申请公布日 2023.04.18 (21)申请号 202211615602.9 (22)申请日 2022.12.15 (71)申请人 西安奕斯伟材料科技有限公司 地址

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