一种硅晶片清洗装置及其工艺.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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一种硅晶片清洗装置及其工艺.pdf

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本发明公开了硅晶片技术领域的一种硅晶片清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱的底部四角处均设置有支脚，所述清洗箱的底部左侧外壁上通过支架安装有电机，所述电机的右侧动力端上安装有转轴，且转轴的右侧端部贯穿清洗箱的外壁通过两组相互啮合的锥形齿轮与转杆的底部连接，所述转杆的底部外壁上通过轴承套接有固定板，且转杆的上部外壁上通过轴承插接在防水板的内腔中，且固定板和防水板均固定安装在清洗箱的左侧内壁上，该硅晶片清洗工艺，通过夹持装置，可以将待清洗的硅晶片进行稳定的夹持，避免在清洗过程中出现脱落损坏的现象，通过纯

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112309886 A (43)申请公布日 2021.02.02 (21)申请号 20191